辐射热计流体流动和温度传感器

摘要

传感器包括参考辐射热计和多个感测辐射热计。每一个感测辐射热计邻近于参考辐射热计布置。每一个辐射热计包括（i）衬底，（ii）连接到衬底的盖结构，盖结构配置成限定盖结构的内表面与衬底的第一表面之间的腔体，（iii）连接衬底并且布置在腔体内的吸收器，吸收器配置成吸收腔体内的红外辐射，以及（iv）连接到吸收器并且配置成提供指示由吸收器吸收的红外辐射量的信号的读出电路。参考辐射热计的盖结构阻挡红外辐射从盖结构的外部进入腔体。每一个感测辐射热计的盖结构允许红外辐射从盖结构的外部进入腔体。