一种光学元件激光诱导损伤在线检测装置和检测方法

摘要

本发明公开了一种光学元件激光诱导损伤在线检测装置和检测方法，其中，检测装置包括脉冲激光光源、探测激光光源、衰减系统、透镜、光学显微镜、CCD相机、计算机以及用于放置待检测光学元件的二维平移台；脉冲激光光源出射的脉冲激光通过衰减系统后由透镜聚焦到待测光学元件的表面，其穿过光学元件的透射光由设置的第一光阱吸收；探测激光光源出射的连续激光斜入射到待测光学元件的表面，其穿过光学元件的透射光由设置的第二光阱吸收；CCD相机的成像面位置可调，利用光学显微镜收集光学元件后表面的散射光，CCD相机获得表面损伤的二维图像后发送给计算机进行处理。利用本发明，可以实现对光学元件表面损伤的有效准确快速在线检测。