• 主题
高级搜索  >
历史搜索 清空历史
首页> 中国专利> 一种基于TFT工艺的可调谐超材料器件及其制作方法

一种基于TFT工艺的可调谐超材料器件及其制作方法

页面导航
  • 摘要
  • 著录项
  • 法律信息
  • 相似文献

摘要

本发明实施例提供一种基于TFT工艺的可调谐超材料器件及其制作方法，包括：TFT单元；多个导电层，形成在所述TFT单元上并且通过通孔与所述TFT单元的源/漏极电联接；以及超材料单元，至少部分地形成在所述多个导电层中的一个或多个中并通过所述通孔与所述源/漏极电联接。该器件不仅易于实现可控超材料阵列，进而大面积生产可控超材料调控系统，与TFT工艺兼容性强、稳定性高，可以实现规模化生产，从而降低生产成本。

著录项

  • 公开/公告号CN112636002B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2022-02-01

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 北京航空航天大学青岛研究院;

    申请/专利号CN202011506665.1

  • 发明设计人 温良恭;白中扬;李河霖;

    申请日2020-12-18

  • 分类号H01Q15/00(20060101);H01L27/12(20060101);H01L21/77(20170101);

  • 代理机构11002 北京路浩知识产权代理有限公司;

  • 代理人李青

  • 地址 266100 山东省青岛市崂山区松岭路393号6号楼5楼

  • 入库时间 2022-08-23 13:03:29

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2023-06-16

    专利权的转移 IPC(主分类):H01Q15/00 专利号:ZL2020115066651 登记生效日:20230602 变更事项:专利权人 变更前权利人:北京航空航天大学青岛研究院 变更后权利人:太锐芯科技(青岛)有限公司 变更事项:地址 变更前权利人:266100 山东省青岛市崂山区松岭路393号6号楼5楼 变更后权利人:266100 山东省青岛市崂山区松岭路169号国际创新园B座

    专利申请权、专利权的转移

相似文献

  • 专利
  • 中文文献
  • 外文文献
获取专利

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

  • 客服微信

  • 服务号