包含硅基稀土掺杂发光材料的电致发光器件及制备方法

摘要

一种包含硅基稀土掺杂发光材料的电致发光器件，在稀土离子注入的基础上，利用大剂量的杂质离子注入的办法在硅基二氧化硅薄膜里引入大量的非桥键氧原子，这种非桥键氧原子和稀土离子结合形成有效的稀土发光中心，其中包括：一p-型或n-型硅衬底；一掺杂层，该掺杂层制作在硅衬底上，该掺杂层是在硅衬底上生长的二氧化硅上用离子注入的方法形成的，该掺杂层是发光器件的有源区；一n-型或p-型多晶硅层，该n-型或p-型多晶硅层制作在掺杂层上；一二氧化硅隔离层，该二氧化硅隔离层生长在掺杂层和多晶硅层上；一电极，该电极制作在n-型或p-型多晶硅层上；另一电极，该电极制作在p-型或n-型硅衬底上；在二氧化硅隔离层表面留有一出光口。