用于无电极等离子体点燃的照明源及等离子体宽带源

摘要

一种在激光维持等离子体LSP宽带源的等离子体灯中用于点燃并维持等离子体的照明源包含经配置以在容纳于所述等离子体灯内的气体内点燃所述等离子体的一或多个点燃激光器。所述照明源还包含经配置以维持所述等离子体的一或多个维持激光器。所述照明源包含递送光纤、一或多个光学元件，所述一或多个光学元件经配置以选择性地将所述一或多个点燃激光器的输出及所述一或多个维持激光器的输出以光学方式耦合到所述递送光纤。