空气腔型薄膜体声波谐振器及其制作方法

摘要

本发明公开了一种空气腔型薄膜体声波谐振器及其制备方法。所述空气腔型薄膜体声波谐振器包括衬底、SiC支撑层、石墨烯下电极、压电层以及上电极，所述衬底具有相背对的第一表面和第二表面，所述SiC支撑层设置在衬底的第一表面上，所述石墨烯下电极直接生长在SiC支撑层上，所述压电层的至少局部区域覆设在石墨烯下电极上，所述上电极设置在压电层上，所述衬底的第二表面上还形成有空气腔。较之现有技术，本发明对空气腔型薄膜体声波谐振器的结构进行了优化，能在显著提高器件性能的同时，保证器件的稳定与可靠性，且其制作方法简单，易于大规模实施。