紫外脉冲激光器

摘要

本申请提供了一种紫外脉冲激光器，涉及紫外脉冲激光技术和光学频率变换技术。紫外脉冲激光器中，基频光脉冲光源用于发出基频光；倍频晶体配置为II类相位匹配，对基频光进行倍频频率变换为倍频光，用于将基频光分解为偏振方向互相垂直的第一偏振方向基频光及第二偏振方向基频光；第一和频晶体将倍频光与第一偏振方向基频光进行和频频率变换为第一紫外光；第二和频晶体将倍频光与第二偏振方向基频光进行和频频率变换为第二紫外光；紫外脉冲激光器将第一紫外光和第二紫外光一同输出。本申请通过偏振方向垂直的偏振光例如第一及第二偏振方向基频光分别与倍频光腔外二次和频，充分利用了垂直的两个偏振方向的偏振光，提高了紫外脉冲激光器的转换效率。