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公开/公告号CN109506826B
专利类型发明专利
公开/公告日2022-01-14
原文格式PDF
申请/专利权人 森萨塔科技公司;
申请/专利号CN201811073961.X
发明设计人 霍史红;E·A·沃尔夫;N·S·彼得拉卡;
申请日2018-09-14
分类号G01L9/00(20060101);G01L19/00(20060101);
代理机构11038 中国贸促会专利商标事务所有限公司;
代理人李东晖
地址 美国马萨诸塞
入库时间 2022-08-23 13:01:01
机译: 半导体压力传感器,例如,作为车辆发动机进气中的进气压力传感器,具有半导体基板,膜片部分,应变仪,电路部分以及硅膜的局部氧化
机译: 具有应变仪的压力传感器,用于安装在管道或套管的端部法兰上,以及安装该压力传感器的装配单元
机译:具有使用压电电阻的应变仪的压力传感器:用于检测气体相对于大气压的压力差的传感器
机译:具有改进的激光阴影点和光学应变仪设置的新型实验装置
机译:用于整体压力传感器的高灵敏度热稳定薄膜应变仪的性能研究
机译:聚合物应变仪作为微加工芯片上器官的压力传感器
机译:基于聚合物的微型法布里 - 珀罗压力传感器,具有温度补偿:建模,制造和实验研究
机译:基于改进三层阳极键合和高性能吸气剂的高Q晶圆级封装及其在微谐振压力传感器中的评估
机译:使用应变仪作为压力传感器的敏感元件
机译:基于应变仪开发压力传感器短响应时间,用于低压测量