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公开/公告号CN109814586B
专利类型发明专利
公开/公告日2022-01-11
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院微电子研究所;
申请/专利号CN201711158308.9
发明设计人 蔡建;甘庆波;贾少霞;金婷;杨景华;刘芳芳;
申请日2017-11-20
分类号G05D1/10(20060101);G01C21/24(20060101);G01C21/00(20060101);
代理机构11302 北京华沛德权律师事务所;
代理人房德权
地址 100029 北京市朝阳区北土城西路3号
入库时间 2022-08-23 13:00:26
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