评估波前测量质量的方法和实现该方法的系统

摘要

根据一个方面，本说明书涉及一种用于评估光学波前的测量质量的方法，所述测量借助于波前分析仪通过直接测量来获得，该方法包括：‑通过波前传感器获取(10)用于波前测量的光电信号，所述传感器包括二维检测器；‑基于所述光电信号确定(11)表征所述光电信号的寄生分量的参数；‑根据表征所述信号的寄生分量的所述至少一个参数来评估(12)波前的测量的品质因数；‑根据所述品质因数向用户显示(13)测量的质量水平。