Fe70Nb10B20非晶合金薄膜的表面改性方法

摘要

本申请公开了一种Fe70Nb10B20非晶合金薄膜的表面改性方法包括如下步骤：将靶材安装至磁控溅射设备的靶头，靶材包含Fe、Nb和B元素；将实验衬底安置于基板的板面；调整基板的位置使实验衬底朝向靶头；安装基板以使衬底朝向靶头；加热基板使其温度达到第一预设温度；使靶材和基板所处的空间处于预设氩气气氛状态；使靶头通电；使靶材以预设溅射状态向基板进行溅射。本申请的有益之处在于提供了一种能够获得耐磨性较好的Fe70Nb10B20非晶合金薄膜的表面改性方法。