公开/公告号CN111558411B
专利类型发明专利
公开/公告日2022-01-11
原文格式PDF
申请/专利权人 山东汤宸机械设备有限公司;
申请/专利号CN202010386061.1
发明设计人 吴广斌;
申请日2020-05-09
分类号B02B3/00(20060101);B02B3/04(20060101);
代理机构44504 深圳市兰锋盛世知识产权代理有限公司;
代理人罗炳锋
地址 250000 山东省济南市商河县贾庄镇民营经济创业园
入库时间 2022-08-23 13:00:11
机译: 基质背面研磨装置,基质背面研磨系统,基质背面研磨方法和记录介质,其能够减少劳动力,时间和成本,从而通过减少研磨时间来补偿研磨成本研磨成员
机译: 用于在两个旋转的工作盘之间双向研磨至少一个盘状工件的导向保持架,一种研磨装置,一种制造该导向保持架的方法以及一种利用该导向保持架同时对盘状工件进行双面研磨的方法
机译: 涡流传感器,一种研磨方法和一种研磨装置,能够减少检测膜残渣时进行额外研磨的时间