公开/公告号CN109459808B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-12-24
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院微电子研究所;
申请/专利号CN201811590134.8
申请日2018-12-25
分类号G02B5/00(20060101);G03F7/00(20060101);C23C14/35(20060101);C23C14/30(20060101);C23C14/18(20060101);
代理机构11667 北京兰亭信通知识产权代理有限公司;
代理人赵永刚
地址 100029 北京市朝阳区北土城西路3号
入库时间 2022-08-23 12:59:49
机译: 入射角和偏振无关的超薄宽带完美吸收体
机译: 等离子光栅的极化敏感完美吸收体及其制造方法
机译: 完美吸收体的制造方法