一种基于单个金属银纳米颗粒-金属银薄膜的Fano共振结构及其制备方法

摘要

本发明公开了一种基于单个金属银纳米颗粒‑金属银薄膜的Fano共振结构及其制备方法，该共振结构包括从上而下依次设置的金属纳米颗粒、透明介质膜和金属薄膜。该共振结构的制备方法包括下述步骤：(1)在绝缘衬底上用电子束蒸发的方法镀一层金属薄膜；(2)用原子层沉积方法在金属薄膜上沉积一层透明介质膜；(3)将金属纳米颗粒用滴涂的方法分散在透明介质膜上。本发明的共振结构可以通过调整金属纳米颗粒的尺寸大小来实现并调控Fano共振，当金属纳米颗粒周围介质环境发生变化时，Fano共振的共振峰位会发生变化，这种共振结构的能量局域性会提高它对环境变化的灵敏度，并且制备方法简单易操作，重复性好，便于应用。