一种基于旋转杠杆半桥放大器的三平动解耦微定位器

摘要

本发明公开了一种基于旋转杠杆半桥放大器的三平动解耦微定位器，包括XY定位器和Z定位器；所述Z定位器采用串联方式嵌入在所述XY定位器的输出末端；所述XY定位器包括四个并联连接的运动支链，四个所述运动支链沿所述Z定位器的周向均匀布置，并且，四个所述运动支链中，其中两个所述运动支链沿X向布置，另外两个所述运动支链沿Y向布置；每个所述运动支链包括用于实现位移放大的旋转杠杆半桥放大器和用于实现位移传递的平行四边形机构，所述旋转杠杆半桥放大器的输出端与所述平行四边形机构的输入端相连，所述平行四边形机构的输出端与所述Z定位器相连。本发明具有X向平动、Y向平动、Z向平动三自由度、大行程、结构紧凑、解耦能力强等特点。