氟化物皮膜形成用铝合金材料及具有氟化物皮膜的铝合金材料

摘要

提供没有黑色的点状隆起部的产生而平滑性优异并且针对腐蚀性气体和等离子体等具备优异的耐蚀性的氟化物皮膜形成用铝合金材料。一种半导体制造装置用的氟化物皮膜形成用铝合金材料(1)，含有Si：0.3质量％～0.8质量％、Mg：0.5质量％～5.0质量％、Fe：0.05质量％～0.5质量％，Cu的含有率为0.5质量％以下，Mn的含有率为0.30质量％以下，Cr的含有率为0.30质量％以下，余量包含Al及不可避免的杂质，在将铝合金材料中的Fe系结晶物的平均长径设为D(μm)，将所述铝合金材料中的平均晶体粒径设为Y(μm)时，满足log10Y<‑0.320D+4.60的关系式。在所述氟化物皮膜形成用铝合金材料(1)的表面的至少一部分形成氟化物皮膜(2)。