公开/公告号CN109569841B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-12-17
原文格式PDF
申请/专利权人 肇庆悦能科技有限公司;
申请/专利号CN201811408305.0
发明设计人 不公告发明人;
申请日2018-11-23
分类号B02C21/00(20060101);B02C18/14(20060101);B02C18/24(20060101);B02C4/02(20060101);B02C4/42(20060101);B02C23/16(20060101);B02C19/00(20060101);
代理机构
代理人
地址 526500 广东省肇庆市封开县江口街道封州二路长征新区拆迁安置区首层
入库时间 2022-08-23 12:58:22
机译: 用于在两个旋转的工作盘之间双向研磨至少一个盘状工件的导向保持架,一种研磨装置,一种制造该导向保持架的方法以及一种利用该导向保持架同时对盘状工件进行双面研磨的方法
机译: 涡流传感器,一种研磨方法和一种研磨装置,能够减少检测膜残渣时进行额外研磨的时间
机译: 具有多级研磨和旋风结构的粉化循环器的研磨装置