一种三轴MEMS陀螺仪

摘要

本发明公开了一种三轴MEMS陀螺仪，包括基底，第一检测部，用于检测绕X方向的角速度；第二检测部和第三检测部，对称设置在第一检测部的两侧，分别和第一检测部相连，并被设置为能够提供方向相反的驱动力，以及能用于检测绕Y方向和绕Z方向的角速度；其中，X方向垂直于Y方向，Z方向垂直于X方向和Y方向；悬挂装置，设置在第一检测部、第二检测部和第三检测部外侧，悬挂装置和第二检测部及第三检测部相连，并和支撑装置相连，实现悬挂装置的悬挂；和支撑装置，固定设置在基底上。本发明的三轴MEMS陀螺仪结构简单、紧凑、输出信号强。