镍电极内驱圆形梁谐振微陀螺

摘要

本发明提供了一种镍电极机构内驱圆形梁谐振微陀螺，包括基底(100)、谐振器(102)以及电极机构(104)；所述基底(100)设置有凸出部108；所述谐振器(102)设置在凸出部108内；所述电极机构(104)沿周向均匀分布在基底(100)上。所述电极机构(104)呈扇形；所述电极机构(104)材料为镍。镍电极内驱圆形梁谐振微陀螺采用圆形梁谐振结构，具有高度对称性；镍电极内驱圆形梁谐振微陀螺采用S型柔性固定梁，结构相对稳定，抗冲击，具有优良的性能。分布在圆形梁谐振器内侧边缘的镍电极相对于分布在圆形梁谐振器外侧圆的电极而言，可以提高镍电极内驱圆形梁谐振微陀螺的Q值，因而响应更加灵敏。