一种激光位移传感器的光束方向矢量和原点位置标定方法

摘要

本发明公开了一种激光位移传感器的光束方向矢量和原点位置标定方法，涉及测量领域，通过测量平面的几何关系得到激光位移传感器测量误差的梯度随着工件表面倾角变化的规律，并在不同的交叉组合角度下对已知平面上的一个待测量点进行测量，依据测量结果求解二维梯度，从而根据测量误差梯度与倾角的变化规律得到激光光束的独立几何偏角误差。在测量平面上对测量点和测量角度进行交叉组合形成测量方阵，得到测量结果，将实际测量结果代入根据几何约束得到的超静定平面拟合方程组，解超静定方程组即可得到直线轴的零位误差。本发明所提供技术方案可操作性高，无需依赖标定块等额外部件即可实现激光位移传感器的标定，计算求解难度低，工业实用性强。