一种高频大带宽薄膜体波滤波器结构及其制备方法

摘要

本发明公开了一种高频大带宽薄膜体波滤波器结构及其制备方法，涉及信息电子材料技术领域，该结构由下至上依次包括衬底、叉指换能器、氧化物保护层和压电薄膜层，叉指换能器设置在衬底上，氧化物保护层设置在衬底上并覆盖叉指换能器的相邻叉指间隙，压电薄膜层设置在氧化物保护层上，氧化物保护层的厚度大于等于叉指换能器的厚度，采用本申请的制备方法可获得晶体质量高、一致性好、传播损耗小的压电薄膜层，使用本申请的体波滤波器结构能获得高声速、大机电耦合系数，满足了移动通讯对高频率大带宽的要求，且该结构使用的制备工艺容易实现，易于大规模推广。