一种基于GDSII格式的直写式光刻机并行数据处理方法

摘要

一种基于GDSII格式的直写式光刻机并行数据处理方法，可解决现有的DMD数字微镜均采用是FPGA进行逻辑运算，若提供的直写式光刻数据采用极性特性，并且按照一定顺序的方式进行处理，很难发挥出FPGA的优势，进而降低了直写式光刻机的产能的技术问题。本发明通过对光刻图形进行数据转换成GDSII格式数据，利用GDSII图形格式，没有极性，没有叠加顺序，基础图形单元可以进行切割，重组等特性，使得每个DMD数字微镜对应的数据处理单元可以并行处理数据，从而达到DMD之间的并行。同时因为每个DMD所需曝光的GDSII数据，因为基础图形可以进行切割和重组，利用CUDA和FPGA的并行特征，对这些数据进行并行处理，从而大大提高直写式光刻机的光刻版图在数据处理上的时间，从而提升了产能。