一种金属钨的沉积方法以及金属钨的沉积结构

摘要

本发明实施例公开了一种金属钨的沉积方法，所述方法包括：形成钨形核层；基于所述钨形核层沉积第一钨生长层；对所述第一钨生长层执行退火工艺；在退火后的所述第一钨生长层上沉积第二钨生长层。本发明实施例还公开了一种基于所述沉积方法形成的金属钨的沉积结构。