用于毫秒退火系统的室壁加热

摘要

提供了用于减少被布置在毫秒退火系统中的室壁上的反射镜上的污染的系统和方法。在一个示例实施方式中，可以通过以下中手段的一个或更多个来加热反射镜：(1)加热封闭流体系统中的流体以调节反射镜的温度；(2)附接至反射镜的筒式电加热器或加热器带；以及/或者(3)使用所述室内的灯光。