公开/公告号CN108598017B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-12-31
原文格式PDF
申请/专利权人 应用材料公司;
申请/专利号CN201810278612.5
申请日2014-02-11
分类号H01L21/67(20060101);
代理机构11006 北京律诚同业知识产权代理有限公司;
代理人徐金国;赵静
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2022-08-23 12:53:41
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