公开/公告号CN109643628B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-12-31
原文格式PDF
申请/专利权人 艾克塞利斯科技公司;
申请/专利号CN201780051450.5
发明设计人 阿尔弗雷德·哈林;
申请日2017-09-06
分类号H01J37/317(20060101);
代理机构11019 北京中原华和知识产权代理有限责任公司;
代理人刘新宇;寿宁
地址 美国马萨诸塞州比佛利市
入库时间 2022-08-23 12:53:36
机译: 扫描离子注入系统中的原位离子束电流监控。
机译: 扫描离子注入系统中的原位离子束监控
机译: 倾斜离子注入系统中的离子束原位电流监控