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铟镓砷/铟铝砷耦合量子点红外探测器及其制备方法

摘要

一种铟镓砷/铟铝砷耦合量子点红外探测器,包括:一GaAs衬底;一n+GaAs下接触层生长在GaAs衬底上,该n+GaAs下接触层中重掺杂施主Si原子;一多周期光电流产生区生长在n+GaAs下接触层上,其作用是吸收红外辐射并产生光电子;一n+GaAs上接触层生长在多周期光电流产生区上,保护多周期光电流产生区;该n+GaAs上接触层中重掺杂Si原子;一上电极制作在n+GaAs上接触层上,收集并输出多周期光电流产生区产生的光电流信号;一下电极制作在n+GaAs下接触层上形成的台阶的一侧,和上电极一起给多周期光电流产生区施加偏压。

著录项

  • 公开/公告号CN100495742C

    专利类型发明授权

  • 公开/公告日2009-06-03

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 中国科学院半导体研究所;

    申请/专利号CN200610165537.9

  • 申请日2006-12-21

  • 分类号H01L31/111(20060101);H01L31/18(20060101);

  • 代理机构11021 中科专利商标代理有限责任公司;

  • 代理人汤保平

  • 地址 100083 北京市海淀区清华东路甲35号

  • 入库时间 2022-08-23 09:02:14

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2011-03-16

    未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 31/111 授权公告日:20090603 终止日期:20100121 申请日:20061221

    专利权的终止

  • 2009-06-03

    授权

    授权

  • 2008-08-20

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2008-06-25

    公开

    公开

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