公开/公告号CN100490106C
专利类型发明授权
公开/公告日2009-05-20
原文格式PDF
申请/专利权人 矽统科技股份有限公司;
申请/专利号CN200510105384.4
申请日2005-09-23
分类号
代理机构北京三友知识产权代理有限公司;
代理人陶海萍
地址 台湾省新竹市
入库时间 2022-08-23 09:02:12
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2010-12-01
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/66 授权公告日:20090520 终止日期:20091023 申请日:20050923
专利权的终止
2009-05-20
授权
授权
2007-05-23
实质审查的生效
实质审查的生效
2007-03-28
公开
公开
机译: 测试板,集成电路测试方法,集成电路设备和集成电路测试系统
机译: 试验装置,测试系统包括测试装置,测试方法使用测试装置和测试系统,以及制造集成电路的方法
机译: 测试设备,包括测试设备的测试系统,使用该测试设备和测试系统的测试方法以及制造集成电路的方法