用于在同步加速器光源光束线中移动和定位具有纳米级机械稳定性和分辨率的光学元件的仪器

摘要

一种用于在光束线中移动和定位光学元件(3)的仪器，包括安装结构(2)，一个(或多个)光学元件(3)安装在所述安装结构(2)上，还包括参考结构(1)，所述安装结构(2)直接或间接地安装到所述参考结构上，所述安装结构(2)通过具有低机械刚度的移动装置(4)移动，并且相对于所述参考结构(1)的位置通过位置检测装置(6)以高分辨率测量。所述仪器还包括反应质量(5)，用于接收来自所述安装结构(2)的所述移动装置(4)施加的力的反应。结构元件通过具有特定刚性特征的弹性装置(/1和/2)连接，使得前述的位置控制在具有带宽超过100HZ的闭环中作用。所述仪器还用于定位用于同步加速器光源光束线的双晶单色仪。