掺氮P型硅母合金及制备方法、掺氮多晶硅锭及制备方法

摘要

本发明提供了一种掺氮P型硅母合金及制备方法、掺氮多晶硅锭及制备方法，掺氮P型硅母合金的制备方法包括如下步骤：投料，将硅料及氮化硼投入铸锭炉内；多晶铸锭，在铸锭炉内依次通过抽真空、加热、熔化、长晶、退火、冷却步骤生产掺氮P型硅母合金晶锭。将所述氮化硼与所述硅料混合后，采用多晶铸锭方法，在获得所需要电阻率母合金的同时将氮元素引入母合金中，进而在生产多晶硅锭时，将氮元素引入其中，可增加其机械强度，有效降低切片等过程的碎片率，大幅降低成本。另外，该方法使用多晶铸锭炉生产掺氮P型硅母合金，可增加母合金产量，降低生产成本。