过渡金属化合物、其制造方法及包含其的含过渡金属薄膜蒸镀用组合物

摘要

本发明涉及新型过渡金属化合物、其制造方法、包含其的含过渡金属薄膜蒸镀用组合物、利用含过渡金属薄膜蒸镀用组合物的含过渡金属薄膜和含过渡金属薄膜的制造方法，本发明的过渡金属化合物的热稳定性高，挥发性高，储存稳定性高，从而将其用作前体能够容易地制造出高密度和高纯度的含过渡金属薄膜。