公开/公告号CN100480683C
专利类型发明授权
公开/公告日2009-04-22
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院半导体研究所;
申请/专利号CN200510130769.6
申请日2005-12-28
分类号G01N21/63(20060101);G01N21/64(20060101);G01N21/65(20060101);
代理机构11021 中科专利商标代理有限责任公司;
代理人段成云
地址 100083 北京市海淀区清华东路甲35号
入库时间 2022-08-23 09:02:13
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2011-03-16
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01N 21/63 授权公告日:20090422 终止日期:20100128 申请日:20051228
专利权的终止
2009-04-22
授权
授权
2007-09-05
实质审查的生效
实质审查的生效
2007-07-11
公开
公开
机译: 高阶路径设置方法,高阶路径排除方法,高阶路径共享方法,高阶路径设置程序,高阶路径排除程序,高阶路径共享程序和以高阶路径存储的存储介质设定程序
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