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一种生长在SiO2衬底上的二维InGaS纳米材料及其制备方法

摘要

本发明公开了一种生长在SiO2衬底上的二维InGaS纳米材料及其制备方法。所述制备方法包括:用乙醇清洗衬底,用干燥氮气吹净,得到清洗后的衬底;将清洗后的衬底放入CVD设备的玻璃管内,将S粉、In颗粒及Ga颗粒放入CVD设备的玻璃管内,抽真空处理,通入氩气作为保护气;升温使S、In及Ga在外延生长面恒温生长,得到生长在SiO2衬底上的InGaS纳米材料。本发明提供的制备方法具有生长工艺简单、生长工艺简单、结晶质量好、成本低、可行性高等优点。通过本发明提供的制备方法,生长出禁带宽度连续可调并可用于制造光探测器及太阳能电池等应用的InGaS二维材料。

著录项

  • 公开/公告号CN110364418B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2021-11-23

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 华南理工大学;

    申请/专利号CN201910581439.0

  • 申请日2019-06-29

  • 分类号H01L21/02(20060101);H01L31/18(20060101);H01L31/032(20060101);B01J27/04(20060101);

  • 代理机构44102 广州粤高专利商标代理有限公司;

  • 代理人何淑珍;冯振宁

  • 地址 510640 广东省广州市天河区五山路381号

  • 入库时间 2022-08-23 12:51:01

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