晶粒行列定位方法、装置和系统以及计算机可读存储介质

摘要

本发明公开了一种基于多检测图像的晶粒行列定位方法，包括：获取目标晶圆上所有晶粒在检测图像上的像素坐标；获取检测图像上晶粒的周期性信息，根据周期性信息得到相邻晶粒之间的像素坐标差值；根据像素坐标差值分别计算每个晶粒在目标晶圆中的初步行列坐标；根据初步行列坐标和对应的像素坐标得到坐标转换的透视变换矩阵；根据多张检测图像上晶粒的物理坐标对应关系得到每张检测图像的透视变换矩阵之间的矩阵对应关系，以根据矩阵对应关系得到晶粒的准确行列坐标。其可以解决现有技术定位晶粒时通过像素坐标和周期性进行简单的乘除来获取行列坐标，在图像多的时候会受到累计误差和随机误差影响的问题。