采用偶极子照明技术依赖屏蔽的定向

摘要

一种使用偶极子照射来印制在基片上具有垂直定向特征和水平定向特征的图形的方法，该方法包括步骤：识别包含在所述图形中的背景区域；在所述背景区域中产生一个包含不可分辨的水平定向特征的垂直元件掩模；在所述背景区域中产生一个包含不可分辨的垂直定向特征的水平元件掩模；使用X磁极照射来照射所述垂直元件掩模；以及使用Y磁极照射来照射所述水平元件掩模。