质量流量控制装置、反应腔室压力控制系统及调节方法

摘要

本发明提供的质量流量控制装置和反应腔室压力控制系统，包括质量流量管路、流量控制模块和驱动模块，其中，流量控制模块设置在质量流量管路上，用于限制流经的气体流量，驱动模块与流量控制模块连接，用于驱动流量控制模块移动，以调整流经流量控制模块的气体流量。由于在管路上设置流量控制模块，并由驱动模块驱动流量控制模块，从而在完全打开和完全关闭两种状态之间，还能够调节流经流量控制模块的流量，进而提高质量流量控制装置的控制精度。本发明提供的反应腔室的压力调节方法，能够通过质量流量控制装置调节流量，来调节反应腔室的压力，具有相应时间快、压力调节精度高的优点。