微米尺度下的界面微观相互作用力测量系统及其测量方法

摘要

本发明公开了一种微米尺度下的实现界面微观相互作用力机理研究的测量系统及其测量方法，该系统包括传感模块、光学感测模块、解调光路模块、信号调理模块、上位机模块和纳米级精度微位移驱动模块，该系统能实现对微米尺度内界面微观相互作用力的测量，从而获得纳米级灵敏度、分辨率、较大的线性测量范围以及较好的稳定性；并且通过该测量系统，实现了对微米尺度下界面微观相互作用力的测量研究，获得了微米尺度下微球头的力‑位移曲线，揭示了微米尺度下界面微观相互作用力的相关作用机理和规律，从而为提高微纳探针的触发和扫描精度提供了理论依据和技术保障。