一种玻璃纤维基柔性氧化镓纳米阵列日盲紫外探测器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种玻璃纤维基柔性氧化镓纳米阵列日盲紫外探测器及其制备方法，包括玻璃纤维布衬底，设置于玻璃纤维布衬底上的β‑Ga2O3薄膜、设置于β‑Ga2O3薄膜上方的β‑Ga2O3纳米柱阵列、设置于β‑Ga2O3纳米柱阵列上方的Ti/Au薄膜叉指电极阵列，β‑Ga2O3薄膜位于玻璃纤维布衬底和β‑Ga2O3纳米柱阵列之间，所述玻璃纤维布衬底可弯曲和折叠。本发明的MSM型Ti/Au/β‑Ga2O3/Ti/Au纳米阵列柔性日盲紫外探测器件厚度稳定均一、柔性可弯曲、可大面积制备、重复性好等优势，在可穿戴设备、紫外线检测和智能纺织品等领域具有很大的应用前景。