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公开/公告号CN112229332B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-11-05
原文格式PDF
申请/专利权人 清华大学;北京华卓精科科技股份有限公司;
申请/专利号CN202011022001.8
发明设计人 朱煜;王磊杰;郭子文;张鸣;成荣;叶伟楠;程朝奎;
申请日2020-09-25
分类号G01B11/02(20060101);G01B9/02(20060101);G02B27/28(20060101);
代理机构11327 北京鸿元知识产权代理有限公司;
代理人张超艳;董永辉
地址 100084 北京市海淀区清华园
入库时间 2022-08-23 12:44:56
机译: 带有衍射屏的光栅干涉仪-多次使用得到的衍射级数作为多偏振或非偏振外差干涉仪或干涉光谱仪
机译: 通过利用从第一和第二光发射器入射到光栅上的光束的光学外差干涉来检测衬底上的衍射光栅的位置偏差的装置
机译: 外差衍射光学干涉仪-将光束引导通过透明块上的输入透射光栅,并从后反射层反射到输入表面上的第二反射层
机译:基于衍射光栅和表面等离子体共振外差干涉仪的光学应变传感器
机译:基于衍射光栅的双色外差干涉仪用于位移测量
机译:使用衍射光栅和高角度灵敏度全内反射外差干涉仪测量小波长偏移
机译:基于衍射光栅的双彩外差干涉仪进行位移测量
机译:基于光纤布拉格光栅和衍射光栅的可复用气体和化学传感器。
机译:旋转度为毫弧度的两自由度光纤耦合外差光栅干涉仪
机译:双衍射空间分离的外差光栅干涉仪及其对准公差分析
机译:用于空气动力学研究的衍射光栅干涉仪的研究