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目录
第1章 绪论
1.1课题背景及研究的目的和意义
1.2光栅位移测量系统的研究现状与趋势
1.3主要研究内容
第2章 光栅位移测量系统的测量原理
2.1引言
2.2一维光栅衍射场分布
2.3光栅位移测量基本原理
2.4偏振光学理论
2.5本章小结
第3章 光栅位移传感器设计与分析
3.1引言
3.2光栅位移传感器设计及理论模型分析
3.3关键关学元件选取
3.4系统机械结构设计
3.5本章小结
第4章 光栅位移测量系统非线性误差分析及改进
4.1引言
4.2系统误差来源分析
4.3光栅引入的误差
4.4激光光源误差分析
4.5光路对位误差分析
4.6电路引入的误差
4.7测量环境引入的误差分析
4.8本章小结
第5章 光栅位移测量系统实验分析
5.1引言
5.2测量系统介绍
5.3光栅位移传感器功能测试
5.4调理电路板设计及功能测试实验
5.5信号处理电路设计及功能测试实验
5.6系统整体性能测试
5.7本章小结
结论
参考文献
声明
致谢