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高精度位移测量的激光干涉仪分析

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激光干涉测量技术作为高精度位移测量的光学计量方法之一,受到了广泛的关注.激光干涉仪具有测量范围大、分辨率高和测量精度高等优点,在精密和超精密测长领域得到了广泛的应用.本文分析了单频激光干涉仪和双频激光干涉仪的特点.

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来源
《2003第三届精密工程学术研讨会》|2003年|136-140|共5页
会议地点哈尔滨
作者
葛轶君; 程维明;
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作者单位

中国仪器仪表学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类光学计量;
关键词
激光干涉仪; 位移测量; 误差分析; 光学计量;

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