高灵敏度毛细管式磁性液体微压差传感器

摘要

本发明公开了一种高灵敏度毛细管式磁性液体微压差传感器，所述高灵敏度毛细管式磁性液体微压差传感器包括第一管组、第二管组、连通管、第一弹性膜、第二弹性膜、第一线圈和第二线圈，第一管组内设有第一腔和第一毛细腔，第一毛细腔与第一腔连通，第二管组内设有第二腔和第二毛细腔，第二毛细腔与第二腔连通，第一腔内和第二腔内均填充有磁性液体，连通管内设有连通腔，连通腔的两端分别与第一毛细腔和第二毛细腔连通，连通腔内填充有非磁性流体，第一弹性膜设于第一管组内，第二弹性膜设于第二管组内，第一线圈缠绕在第一管组的外周，第二线圈缠绕在第二管组的外周。本发明的微压差传感器提高了微压差传感器的灵敏度，并具有自恢复特性。