声学谐振器及其制造方法以及包括该声学谐振器的滤波器

摘要

本公开提供了声学谐振器及其制造方法以及包括该声学谐振器的滤波器。根据本公开的声学谐振器的制造方法包括：在衬底内部或表面上形成反射元件；在衬底上方沿竖直方向依次形成与反射元件交叠的下电极和压电层；在有效谐振区域的一端对压电层进行刻蚀以形成空隙；以及在压电层上方形成上电极和桥部，其中桥部覆盖空隙，下电极、压电层和上电极与反射元件交叠的区域构成有效谐振区域。根据本公开的声学谐振器及其制造方法，可以在不显著增加工艺复杂度的情况下在声学谐振器的有效谐振区域周围形成空隙以将谐振能量限制在有效谐振区域中，从而减少谐振能量的损失，提高声学谐振器的品质因数。