一种自支撑超细纳米晶金刚石厚膜

摘要

本发明公开了一种自支撑超细纳米晶金刚石厚膜，其特征在于，所述厚膜的厚度为100‑3000微米，其中1纳米≤金刚石晶粒尺寸≤20纳米。本发明采用化学气相沉积的方法，在硅基板上生长超细纳米晶金刚石，然后将硅基板与金刚石分离，获得自支撑超细纳米晶金刚石厚膜。本发明提供了一种简单、有效的化学气相沉积方法，制备了高质量超细纳米晶金刚石厚膜。