一种中红外双波段带通滤光片及其制备方法

摘要

本发明公开了一种中红外双波段带通滤光片及其制备方法，一种中红外双波段带通滤光片，包括基底和形成在基底两侧表面上的带通滤光膜、负滤光膜；该滤光片的膜系结构为：8^(LH)9^(HL)|Si|(LH)^9(HL)^3H；其中，Sub为基底，L为SiO膜层，H为Ge膜层。一种中红外双波段带通滤光片的制备方法，包括以下步骤：在基底上单面镀制带通滤光膜；在基底另一面镀制负滤光膜。本发明主要针对3μm～5μm中红外波段提供一种3.7－4.1μm以及4.55－4.8μm双波段带通滤波同时抑制4.26μm附近干扰能量的介质薄膜涂层，其本身具有高透射率、双波段带通、可靠性好，环境适应性强的特性。