一种消除扭矩的在超高真空系统中固定样品托的装置

摘要

本发明公开了一种消除扭矩的在超高真空系统中固定样品托的装置，属于超高真空固定样品托设计领域。包括磁力杆、线性驱动器、机械手模块；固定样品托的两颗螺钉具有相反的螺纹，通过机械手模块的反向同时旋转带动样品托上两颗螺钉的同时紧固，通过线性驱动器的移动，使得机械手模块能够实现前进后退的可调控性，从而可以在超高真空系统中在固定样品托的同时也消除了扭矩。本发明具有实用性、独立性，符合超高真空系统传动部件设计要求。