降低多晶硅干法回收工艺HCl吸收液中轻组分杂质含量的装置及方法

摘要

本发明公开了一种降低多晶硅干法回收工艺HCl吸收液中轻组分杂质含量的装置及方法，该装置包括吸收塔和解吸塔，吸收塔的底部连通换热器的管程进口，其管程出口连接解吸塔的进料口；解吸塔底部的出料口经输送泵连接换热器的壳程进口，其壳程出口连接至吸收塔的上部的吸收液入口；输送泵与换热器之间还设有第一分支管线，第一分支管线末端为高纯四氯化硅进口。通过在进入HCl吸收塔管线上增加一根纯STC管线，与吸收液一起进入HCl吸收塔。在循环量和解吸塔液位恒定的情况下，增加了STC，则HCl解吸塔底部会不间断排出HCl吸收液，如此往复就达到了稀释吸收液杂质、净化HCl吸收液的作用，从而降低杂质对氢气的影响。