一种纳米羰基金属复合超滑含氢碳薄膜的制备方法

摘要

本发明涉及一种纳米羰基金属复合超滑含氢碳薄膜的制备方法，是在金属基底上通过磁控溅射沉积技术和空心阴极等离子化学气相沉积技术沉积制备含氢量为20‑24%的含氢碳薄膜，然后通过自组装的方式在含氢碳薄膜上生长纳米羰基金属颗粒获得。由于羰基金属其羰基的高活性，在摩擦过程中，含氢非晶碳环状网络在纳米羰基金属的催化下转变为石墨烯，而石墨烯的多层结构有利于碳膜的超滑性能。摩擦性能测试结果表明，在干燥的大气环境及惰性气氛下，本发明制备的复合纳米羰基金属含氢碳膜的摩擦系数均在0.003~0.006范围内，远低于传统的0.01数量级，完全实现了在宏观尺度大气等环境下的超滑性能，对超滑技术的工程应用意义重大。