窄线宽分布反馈半导体激光器及其制备方法

摘要

一种分布反馈半导体激光器，所述激光器自下而上依次包括N面电极层、衬底层、缓冲层、下波导层、有源层、上波导层、二次外延光栅层、刻蚀自停止层、包层、欧姆接触层、钝化层和P面电极层；包层和欧姆接触层构成波导结构，所述波导结构为脊波导结构。本发明利用垂直方向上下两层光栅结构，共同反馈选模。分布在有源区附近的二次外延光栅与光场高效耦合，实现频率选择和压窄线宽。电极取样光栅单一反射峰线宽窄，与波导内光场充分耦合反馈，能够进一步稳定工作波长，提高边模抑制比，减小线宽因子，有效压窄激光线宽。