"/> 新型四羧酸二酐、聚酰亚胺树脂及其制造方法、光敏树脂组合物、图案形成方法(CN201811477764.4)-中国专利【掌桥科研】
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新型四羧酸二酐、聚酰亚胺树脂及其制造方法、光敏树脂组合物、图案形成方法

摘要

本发明提供一种能够导出聚酰亚胺的四羧酸二酐、使用该四羧酸二酐而得到的聚酰亚胺树脂及其制造方法,所述聚酰亚胺可在不损害机械强度、密着性等优异的特征的情况下形成微细的图案并得到高分辨率,且可用作光敏树脂组合物的基础树脂。所述四羧酸二酐的特征在于,为下述通式(1)所示的四羧酸二酐。[化学式1]

著录项

  • 公开/公告号CN110016136B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2021-09-24

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 信越化学工业株式会社;

    申请/专利号CN201811477764.4

  • 申请日2018-12-05

  • 分类号C08G73/10(20060101);G03F7/004(20060101);G03F7/008(20060101);G03F7/038(20060101);G03F7/039(20060101);G03F7/20(20060101);G03F7/32(20060101);

  • 代理机构11002 北京路浩知识产权代理有限公司;

  • 代理人张晶;谢顺星

  • 地址 日本东京都

  • 入库时间 2022-08-23 12:32:06

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